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Fakultät Maschinenbau
Mikrosonde © LWT

JEOL HyperProbe JXA-iHP200F

Beschreibung

Feldemissions-Elektronenstrahlmikrosonde mit EDX, WDX und SXES

Merkmale

  1. Patentierte In-lens Schottky FEG
    Die patentierte, extrem langlebige In-Lens Schottky Plus FEG bietet eine optimierte Strahlstromdichte, welche die Analyse mit variabel und kontinuierlich einstellbaren Sondenströmen von 1 nA bis zu 3 μA ermöglicht. Daneben wird in der Sekundärelektronenabbildung eine sehr hohe Auflösung von 2,5 nm ermöglicht.
     
  2. Kombiniertes WDS/EDS-System
    Die JEOL Mikrosonde JXA-iHP200F ist mit einem 30-mm²-Silizium-Drift-Detektor (SDD) EDS-System ausgestattet, der in voller Funktionalität in die Mikroskop-Softwareoberfläche eingebunden ist, bspw. mit Live-EDS-Spektren, Live-Mapping, etc. Das JEOL-EDS System ist durch eine variable Blende speziell auf die Auswertung von hohen Zählraten ausgelegt und ermöglicht EDS-Analysen unter WDS-Bedingungen. Zudem können die EDS- und WDS-Daten kombiniert werden. Intelligente Software erlaubt es darüber hinaus, gemessene EDS-Spektren zur automatischen Auswahl der WDS-Kristalle zu verwenden.
     
  3. Automatische Schleuse und vielseitige Probenkammer
    Die Mikrosonde ist mit einer großen Probenkammer und automatischen Probenschleuse ausgestattet. Dadurch können Proben sicher und schnell ein- und ausgebaut werden und eine Vielzahl von optionalen Erweiterungen integriert werden.
     
  4. Soft X-ray Emission Spectrometer (SXES)
    Das höchstauflösende System erlaubt die parallele Detektion von Röntgenspektren mit sehr hoher Energieauflösung und ermöglicht neben der Detektion von Li-K- und B-K-Spektren auch die Analyse von Bindungszuständen.

Spezifikationen

Elektronenoptik  
Elektronenquelle Schottky-Feldemission
Beschleunigungs­spannung 1 bis 30 kV
Probenstrom 1 pA bis 3 µA
Strahlstrom­stabilität ±0,3% / h; ± 1,0% / 12 h
Auflösung im SE-Bild 2,5 nm
Vergrößerung x40 bis x300.000
Analysesystem  
Zahl der Spektrometer 1 bis 5
Detektierbarer Elementbereich 5B bis 92U (optional: Be bis U)
Wellenlängen­bereich 0,087 bis 9,3 nm
EDS-System Serienmäßig, vollständig hard- und software-integriert

Ansprechperson