Feldemissionsrasterelektronenmikroskop Fa. Jeol
Die Kombination eines Rasterelektronenmikroskopes mit einem energiedispersiven Röntgenspektrometer (EDX-Analyse) ermöglicht neben der morphologischen und topographischen Untersuchung von glatten und rauen Oberflächen bei geringen sowie höheren Vergrößerungen auch die qualitative und quantitative Elementanalyse im Mikrobereich. Zusätzlich besteht die Möglichkeit mit dem EBSD-Detektor den kristallinen Aufbau von Werkstoffen (z.B. Charakterisierung der Gitterstruktur, Lage und Orientierung von Kristallen im Raum) zu bestimmen.
Technische Daten
| Typ | JSM 7001F |
| Kathode | Thermische Feldemissionskathode, in-lens Schottky-Feldemissionskathode (Hoher Strahlstrom/hohe Strahlstabilität) |
| Detektoren |
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| Beschleunigungsspannung | 0,5-30 kV |
| Auflösung | 3 nm / 1 kV; 1,2 nm / 30 kV |
| Vergrößerung | x10 - 1.000.000 |
| Sonstiges |
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