Cross Section Polisher
Der JEOL Cross Section Polisher IB-09010CP ist ein einfach zu bedienendes Präparationssystem zur Herstellung von Probenquerschnitten für REM-, EPMA- und Auger-Anwendungen. Weiche, harte und Verbundwerkstoffe können mit einem Minimum an Probenschädigung, -verformung und -verschmierung präpariert werden.
Ein Ar-Ionenstrahl schneidet Querschnitte in praktisch alle Materialien und erzeugt eine saubere, polierte Oberfläche über einen großen Probenbereich.
- (a) Schematic view of the cross-section polishing process: the sample side not protected by the shield plate is polished with the Ar -ion beam;
- (b) SEM image of a Si wafer cross-section obtained by the ion-milling polishing method (XY plan).
Spezifikationen
Anwendungsbeispiele
