Röntgendiffraktometrie zur Phasenanalyse
Mit der Röntgendiffraktion (engl. x-ray diffraction, kurz XRD) werden die kristallinen Phasen der PVD-Dünnschichten sowie der Substratwerkstoffe analysiert. Die Röntgendiffraktometrie beruht auf der Beugung der Röntgenstrahlung an dreidimensional periodischen Kristallgittern. Der Netzebenenabstand dhkl mit den Millerschen Indices hkl wird hierbei mit der Bragg’schen Gleichung aus der der Wellenlänge λ und dem Beugungswinkel θ ermittelt: n⋅λ=2dhkl⋅sinθ
Der LWT verfügt über ein Labor-Röntgendiffraktometer D8 Advance der Firma Bruker AXS GmbH (Karlsruhe, Deutschland) für die Phasenanalyse der PVD-Dünnschichten. Mit Hilfe des Diffraktometers können unter anderem folgende Untersuchungen durchgeführt werden:
- Bestimmung der kristallinen Phasenbestandteile
- Kristallstruktur- und Gitterparameterbestimmung
- Identifizierung einer Vorzugsorientierung (Texturierung)
- Kristallitgrößenbestimmung
- Quantitative Analyse der kristallinen Phasenanteile
- Eigenspannungsmessung mittels der sin² ψ-Methode
Technische Daten
Technische Daten: |
| vorhandene Röntgenröhren | Cu, Cr, Mo, Fe, Co ( mit Lang-Fein- und/oder Punkt-Fokus) | |
| Goniometer für Theta/Theta Geometrie | R=250 mm | |
| Eulerwiege | ||
| Probenrotation | 0° ≤ φ ≤ 360° | |
| Probenkippung | -10° ≤ ψ ≤ +90° | |
| 0D-Detektor | Szintillations-Detektor | |
| 1D-Detektor | LynxEye | |
| Verschiedene Primäroptiken zur Erzeugung von Parallelstrahloptik oder konvergentem-divergentem Strahlengang mit definierter Größe | ||
| Verschiedene Sekundäroptiken zur Vermeidung von Streustrahlung | ||
| XRD Messmethoden | Bragg-Brentano-Geometrie, GIXRD (Messungen unter streifendem Einfall) |